近年、国際競争の激化により単純部品生産の海外シフトが著しく、国内はより複雑なものの開発・生産に移ってきている。それに伴い観察領域が大きく、しかも微細形状や複雑な形状を高速に観察したいとの要求が増えてきているが、それに応える計測装置はないのが現状である。
　本技術開発では、共焦点光学系をベースに光干渉系および観察光学系をハイブリッド化して、広い表面の異物・キズ等の欠陥と干渉縞による高さ情報を同時に高速取得する装置（図１）を開発する。そのため、独自開発の超高解像テレセントリックfθレンズ光学系により横分解能を0.5μmとし、干渉縞の縞数を通常干渉計の約10倍多くして、干渉縞を発生させる高さの領域を大きく広げている。その結果、セラミックスや金属加工面、接着剤や印刷塗布面など従来計測できなかった表面の干渉計測が可能になる（図２）。
　広い視野と高解像を両立させた全く新しいコンセプトの本開発装置により、部品が複雑化する昨今、産業への貢献が大いに期待できる。また本装置を商品化することで日本の光学技術を世界にアピールすることが出来る。