第97回新技術開発-02
次世代半導体検査装置用の高出力深紫外光波長変換器の開発
|
技術開発内容 |
現在の半導体製造におけるウエハ検査装置市場は市場規模が約2 億ドルで、今後3 年に渡り年間約10%の成長が予測される。本開発は、次世代ウエハ検査装置で求められる短波長、高出力かつ長寿命の連続動作を、同社がこれまで蓄積してきた深紫外レーザのノウハウを生かし、次世代ウエハ検査装置メーカに提供することを狙いとする。
|
|
技術開発内容 |
現在の半導体製造におけるウエハ検査装置市場は市場規模が約2 億ドルで、今後3 年に渡り年間約10%の成長が予測される。本開発は、次世代ウエハ検査装置で求められる短波長、高出力かつ長寿命の連続動作を、同社がこれまで蓄積してきた深紫外レーザのノウハウを生かし、次世代ウエハ検査装置メーカに提供することを狙いとする。
|