新技術開発助成

第97回新技術開発-02

次世代半導体検査装置用の高出力深紫外光波長変換器の開発

技 術 開 発
契 約 者
株式会社 メガオプト
代表取締役   中山 伸一
所 在 地
埼玉県和光市
技   術
所 有 者
株式会社 メガオプト
技   術
開 発 者
株式会社 メガオプト 開発部第二開発グループ
グループ長 宮田 憲太郎

技術開発内容

 現在の半導体製造におけるウエハ検査装置市場は市場規模が約2 億ドルで、今後3 年に渡り年間約10%の成長が予測される。本開発は、次世代ウエハ検査装置で求められる短波長、高出力かつ長寿命の連続動作を、同社がこれまで蓄積してきた深紫外レーザのノウハウを生かし、次世代ウエハ検査装置メーカに提供することを狙いとする。
 ウエハ検査装置に搭載される深紫外レーザの要求仕様は検査装置メーカ毎に多種多様であるため、個々の仕様に合わせて新規に開発していては開発コストが高騰してしまうという課題があった。そこで、幅広い要求仕様に対応できるよう、波長変換部を独立させたコンパクトな深紫外レーザ光波長変換装置「DUV BOX」を開発する。開発品は波長変換結晶の大径化による高出力化と、結晶の温度や品質のムラを補正し励起レーザ光に対する結晶の各入射スポットの最適条件を事前に計測して長期間の安定出力を実現する特許技術、「結晶マッピング」技術を実用化する。
 本開発により、次世代を含めた複数世代の半導体ウエハ検査装置に、より高い性能と低価格を両立した深紫外レーザ光源を提供することができるようになる。これにより半導体デバイスメーカは、高品質な半導体デバイスをより早く、安価に社会に提供できるようになり、半導体デバイス製造の面からIoTやIndustry4.0の進展を通した社会の発展に大きく貢献することができるようになる。

図

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