助成テーマ完了認定企業紹介 016
第84回 平成21年度第2次助成テーマ
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開発技術の概要 |
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3万以上のピン数を持ち300mmウェーハに一括コンタクトできるプローブカードを開発しました。本開発による300mmのプローブカードは図1のように配線基板と弾性体である異方性導電ゴムに対し、独特の導電電極構造を持つメンブレンバンプを形成した小片プローブをメタルフレームに多数貼付け、更に真空により加圧する構造を持っています。また、図2はDUT基板上に搭載したプローブカードの外観です 
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これからの計画 |
| 本プローブカード技術により、ウェーハレベルバーンイン用途及びウェーハ検査用途の一括コンタクトが確実にできることが確認できました。今後は、商品化に向けて、低価格化、多ピン化、大口径化等の検討を進め、更なる改良を加えて行きたいと考えています。また、多極のコネクションという観点からも本技術の利用が可能と考えておりますのでその他の応用製品開発をも進めていきたい考えております。 |
企業からのお願い |
| 本プローブカード技術は、DRAM、フラッシュメモリ等の半導体ウェーハテストに対応しておりますが、最近のLEDモジュール等の多極の接続に関しても適してると考えておりますので、この技術の応用範囲は、幅広いと考えております。 本製品の応用を検討されたい場合は、問合せ先にご相談下さい。 |
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